發現過程
1943年，蘇聯學者拉扎連科夫婦研究發明電火花加工，之后隨著脈沖電源和控制系統的改進，而迅速發展起來。最初使用的脈沖電源是簡單的電阻-電容回路。
發展歷程
50年代
改進為電阻-電感-電容等回路。同時，還采用脈沖發電機之類的所謂長脈沖電源，使蝕除效率提高，工具電極相對損耗降低。
隨后又出現了大功率電子管、閘流管等高頻脈沖電源，使在同樣表面粗糙度條件下的生產率得以提高。
60年代
出現了晶體管和可控硅脈沖電源，提高了能源利用效率和降低了工具電極損耗，并擴大了粗精加工的可調范圍。
70年代
出現了高低壓復合脈沖、多回路脈沖、等幅脈沖和可調波形脈沖等電源，在加工表面粗糙度、加工精度和降低工具電極損耗等方面又有了新的進展。在控制系統方面，從最初簡單地保持放電間隙，控制工具電極的進退，逐步發展到利用微型計算機，對電參數和非電參數等各種因素進行適時控制。